Ti-Ni形状記憶合金スパッタ薄膜を用いた強力大変位マイクロアクチュエータの作製

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Ti-Ni形状記憶合金スパッタ薄膜を用いた強力大変位マイクロアクチュエータの作製

宮崎修一研究代表

（科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書, 平成14年度-平成16年度）

[宮崎修一], 2006.3

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Ti-Ni ケイジョウ キオク ゴウキン スパッタ ハクマク オ モチイタ キョウリョク ダイヘンイ マイクロ アクチュエータ ノ サクセイ

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課題番号: 14205099

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Details

  • NCID
    BA77548800
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [つくば]
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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