3C-SiC薄膜エピ成長における不純物酸素の影響に関する研究
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書誌事項
3C-SiC薄膜エピ成長における不純物酸素の影響に関する研究
(科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成11-12年度)
[九州工業大学], 2001.3
- タイトル別名
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平成11年度〜平成12年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書
- タイトル読み
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3C-SiC ウスマク エピ セイチョウ ニオケル フジュンブツ サンソ ノ エイキョウ ニ カンスル ケンキュウ
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注記
課題番号: 11650029
研究分担者:宮里達郎
参考文献