二重フィードバック型光波長走査干渉法による波長単位目盛の生成とナノ計測への応用

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二重フィードバック型光波長走査干渉法による波長単位目盛の生成とナノ計測への応用

佐々木修己研究代表

（科学研究費補助金(基盤研究C)研究成果報告書, 平成16年度-平成17年度）

[佐々木修己], 2006.5

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ニジュウ フィードバックガタ ヒカリハチョウ ソウサ カンショウホウ ニヨル ハチョウ タンイ メモリ ノ セイセイ ト ナノ ケイソク エノ オウヨウ

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課題番号: 16560033

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Details

  • NCID
    BA7798984X
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [新潟]
  • Pages/Volumes
    vi, 70p
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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