ベータNMRによる半導体中の不純物の拡散研究

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ベータNMRによる半導体中の不純物の拡散研究

泉川卓司研究代表

(科学研究費補助金(基盤研究C)研究成果報告書, 平成16年度-平成17年度)

[泉川卓司], 2006.3

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ベータ NMR ニヨル ハンドウタイチュウ ノ フジュンブツ ノ カクサン ケンキュウ

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Note

課題番号: 16540283

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Details

  • NCID
    BA77991637
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [新潟]
  • Pages/Volumes
    iii, 89p
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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