絶縁膜上シリコン光モジュレータの研究
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書誌事項
絶縁膜上シリコン光モジュレータの研究
(科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書)
広島大学ナノデバイス・システム研究センター, 2006.3
- タイトル読み
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ゼツエンマクジョウ シリコン ヒカリ モジュレータ ノ ケンキュウ
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注記
研究課題番号:14350189