メタル-シリコン化合物(シリサイド)の成長機構に関する基礎研究

著者

• 下崎, 敏唯 シモザキ, トシタダ

書誌事項

メタル-シリコン化合物(シリサイド)の成長機構に関する基礎研究

研究代表者 下崎敏唯

（科学研究費補助金(一般研究C)研究成果報告書, 平成6年度）

[九州工業大学], 1995.3

タイトル別名

平成6年度科学研究費補助金(一般研究C)研究成果報告書

タイトル読み

メタル-シリコン カゴウブツ シリサイド ノ セイチョウ キコウ ニ カンスル キソ ケンキュウ

注記

研究課題番号: 04650604

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA78265528
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [北九州]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BN03663735