サブミクロン分解能を有するX線スペクトロスコピ-散乱トポグラフィ装置の開発

著者

• 近浦, 吉則 チカウラ, ヨシノリ

書誌事項

サブミクロン分解能を有するX線スペクトロスコピ-散乱トポグラフィ装置の開発

研究代表者 近浦吉則

（科学研究費補助金(試験研究B)研究成果報告書, 平成6年度）

[九州工業大学], 1995.3

タイトル別名

平成6年度科学研究費助成金(試験研究B)研究成果報告書

タイトル読み

サブミクロン ブンカイノウ オ ユウスル Xセン スペクトロスコピー サンラン トポグラフィ ソウチ ノ カイハツ

注記

課題番号: 04558016

研究分担者: 鈴木芳文

参考文献

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA78309656
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [北九州]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BN07858102