サブミクロン分解能を有するX線スペクトロスコピ-散乱トポグラフィ装置の開発

Author(s)

• 近浦, 吉則 チカウラ, ヨシノリ

Bibliographic Information

サブミクロン分解能を有するX線スペクトロスコピ-散乱トポグラフィ装置の開発

研究代表者 近浦吉則

（科学研究費補助金(試験研究B)研究成果報告書, 平成6年度）

[九州工業大学], 1995.3

Other Title

平成6年度科学研究費助成金(試験研究B)研究成果報告書

Title Transcription

サブミクロン ブンカイノウ オ ユウスル Xセン スペクトロスコピー サンラン トポグラフィ ソウチ ノ カイハツ

Note

課題番号: 04558016

研究分担者: 鈴木芳文

参考文献

• NCID: BA78309656
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpneng
• Place of Publication: [北九州]
• Pages/Volumes: 1冊
• Size: 30cm
• Parent Bibliography ID:
  • BN07858102