極端紫外(EUV)光源開発等の先進半導体製造技術の実用化

Author(s)

• 三間, 圀興 ミマ, クニオキ

Bibliographic Information

極端紫外(EUV)光源開発等の先進半導体製造技術の実用化

三間圀興 [編]

（文部科学省リーディング・プロジェクト）

大阪大学レーザーエネルギー学研究センター, 2006.3-

• 平成17年度研究成果報告書
• 平成18年度研究成果報告書

Other Title

極端紫外EUV光源開発等の先進半導体製造技術の実用化

Title Transcription

キョクタン シガイ (EUV) コウゲン カイハツトウ ノ センシン ハンドウタイ セイゾウ ギジュツ ノ ジツヨウカ

Note

文部科学省の委託業務として、大阪大学が実施した平成17-18年度の成果をとりまとめたもの

Details

• NCID: BA78455363
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpneng
• Place of Publication: [大阪]
• Pages/Volumes: 冊
• Size: 30cm
• Parent Bibliography ID:
  • BA78455192