ナノインプリントの基礎と技術開発・応用展開 : ナノインプリントの基盤技術と最新の技術展開

Author(s)

    • 平井, 義彦 ヒライ, ヨシヒコ

Bibliographic Information

ナノインプリントの基礎と技術開発・応用展開 : ナノインプリントの基盤技術と最新の技術展開

平井義彦編

フロンティア出版, 2006.7

Other Title

Science and new technology in Nanoimprint

ナノインプリントの基礎と技術開発応用展開 : ナノインプリントの基盤技術と最新の技術展開

Title Transcription

ナノインプリント ノ キソ ト ギジュツ カイハツ オウヨウ テンカイ : ナノ インプリント ノ キバン ギジュツ ト サイシン ノ ギジュツ テンカイ

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Description and Table of Contents

Table of Contents

  • 序章　ナノインプリントの技術開発と進展
  • 第１章　ナノインプリントの基礎的メカニズム
  • 第２章　ナノインプリントの装置技術
  • 第３章　ナノインプリントの材料技術
  • 第４章　ナノインプリントのプロセス技術
  • 第５章　ナノインプリントの応用
  • 第６章　ナノインプリントの技術推移と用途展開
  • 第７章　ナノインプリントの展望

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Details

  • NCID
    BA78488001
  • ISBN
    • 4902410095
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京
  • Pages/Volumes
    viii, 281p
  • Size
    27cm
  • Classification
  • Subject Headings
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