ナノインプリントの基礎と技術開発・応用展開 : ナノインプリントの基盤技術と最新の技術展開

Author(s)

• 平井, 義彦 ヒライ, ヨシヒコ

Bibliographic Information

ナノインプリントの基礎と技術開発・応用展開 : ナノインプリントの基盤技術と最新の技術展開

平井義彦編

フロンティア出版, 2006.7

Other Title

Science and new technology in Nanoimprint

ナノインプリントの基礎と技術開発応用展開 : ナノインプリントの基盤技術と最新の技術展開

Title Transcription

ナノインプリント ノ キソ ト ギジュツ カイハツ オウヨウ テンカイ : ナノ インプリント ノ キバン ギジュツ ト サイシン ノ ギジュツ テンカイ

Description and Table of Contents

Table of Contents

• 序章　ナノインプリントの技術開発と進展
• 第１章　ナノインプリントの基礎的メカニズム
• 第２章　ナノインプリントの装置技術
• 第３章　ナノインプリントの材料技術
• 第４章　ナノインプリントのプロセス技術
• 第５章　ナノインプリントの応用
• 第６章　ナノインプリントの技術推移と用途展開
• 第７章　ナノインプリントの展望

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• NCID: BA78488001
• ISBN:
  • 4902410095
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: viii, 281p
• Size: 27cm
• Classification:
  • NDC9 : 549.8
  • NDLC : ND371
• Subject Headings:
  • NDLSH : 半導体
  • NDLSH : ナノテクノロジー