ナノインプリントの基礎と技術開発・応用展開 : ナノインプリントの基盤技術と最新の技術展開

著者

    • 平井, 義彦 ヒライ, ヨシヒコ

書誌事項

ナノインプリントの基礎と技術開発・応用展開 : ナノインプリントの基盤技術と最新の技術展開

平井義彦編

フロンティア出版, 2006.7

タイトル別名

Science and new technology in Nanoimprint

ナノインプリントの基礎と技術開発応用展開 : ナノインプリントの基盤技術と最新の技術展開

タイトル読み

ナノインプリント ノ キソ ト ギジュツ カイハツ オウヨウ テンカイ : ナノ インプリント ノ キバン ギジュツ ト サイシン ノ ギジュツ テンカイ

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内容説明・目次

目次

  • 序章 ナノインプリントの技術開発と進展
  • 第1章 ナノインプリントの基礎的メカニズム
  • 第2章 ナノインプリントの装置技術
  • 第3章 ナノインプリントの材料技術
  • 第4章 ナノインプリントのプロセス技術
  • 第5章 ナノインプリントの応用
  • 第6章 ナノインプリントの技術推移と用途展開
  • 第7章 ナノインプリントの展望

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA78488001
  • ISBN
    • 4902410095
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    東京
  • ページ数/冊数
    viii, 281p
  • 大きさ
    27cm
  • 分類
  • 件名
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