Process technology for silicon carbide devices

著者

• Zetterling, Carl-Mikael
• Institution of Electrical Engineers

書誌事項

Process technology for silicon carbide devices

edited by Carl-Mikael Zetterling

（EMIS processing series / Series advisor B.L. Weiss, 2）

INSPEC, c2002

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA78505392
• ISBN:
  • 0852969988
• 出版国コード: uk
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: London
• ページ数/冊数: xxii, 176 p
• 大きさ: 26 cm
• 分類:
  • DC21 : 621.38152
• 件名:
  • LCSH : Silicon carbide -- Electric properties
• 親書誌ID:
  • BA59159716