半導体製造装置用語辞典
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半導体製造装置用語辞典
日刊工業新聞社, 2006.9
第6版
- タイトル別名
-
Terminological dictionary of semiconductor equipment
- タイトル読み
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ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ヨウゴ ジテン
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注記
引用文献一覧表: p448
内容説明・目次
目次
- 第１章 半導体製造フローチャートと装置用語の構成
- 第２章 設計工程用語
- 第３章 マスク製作工程用語
- 第４章 ウェーハ製造工程用語
- 第５章 ウェーハプロセス工程用語
- 第６章 組立工程用語
- 第７章 検査工程用語
- 第８章 設備・環境工程用語
- 資料
「BOOKデータベース」 より