CMP技術大系

著者

• 精密工学会「プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会」 セイミツ コウガクカイ プラナリゼーション CMP ト ソノ オウヨウ ギジュツ センモン イインカイ

書誌事項

CMP技術大系

精密工学会「プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会」編

グローバルネット, 2006.6

タイトル別名

A library of CMP planarization technology & application

タイトル読み

CMP ギジュツ タイケイ

注記

監修: 土肥俊郎, 木下正治

編集代表: 檜山浩國

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA78803936
• ISBN:
  • 4907847130
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: vii, 15, 788p
• 大きさ: 27cm