Post-process techniques for integrated MEMS

著者

• Sedky, Sherif

書誌事項

Post-process techniques for integrated MEMS

Sherif Sedky

（MEMS--Microelectromechanical systems series）

Artech House, c2006

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA78847975
• ISBN:
  • 1580539017
• LCCN: 2005050833
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Boston
• ページ数/冊数: xiv, 207 p.
• 大きさ: 24 cm
• 分類:
  • LCC : TK7875
  • DC22 : 621.381
• 件名:
  • LCSH : Microelectromechanical systems
• 親書誌ID:
  • BA42762167