3C-SiC温度・光センサのための薄膜作製に関する研究

著者

• 平林, 康男 ヒラバヤシ, ヤスオ

書誌事項

3C-SiC温度・光センサのための薄膜作製に関する研究

平林康男 [著]

平林康男, 2006.9

タイトル読み

3C SiC オンド ヒカリ センサ ノ タメ ノ ハクマク サクセイ ニ カンスル ケンキュウ

注記

博士学位論文 (埼玉大学, 2006年, 博理工乙第152号)

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参考文献: 枚94-95

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA79212866
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [さいたま]
• ページ数/冊数: iii, 100枚
• 大きさ: 30cm