ウェット・ドライプロセスによるLCD、PDP、有機EL、微細配線、光ディスク、光学素子・部品の(超)精密洗浄と洗浄度評価

書誌事項

ウェット・ドライプロセスによるLCD、PDP、有機EL、微細配線、光ディスク、光学素子・部品の(超)精密洗浄と洗浄度評価

技術情報協会, 2005.8

タイトル別名

LCD、PDP、有機EL、微細配線、光ディスク、光学素子・部品の(超)精密洗浄と洗浄度評価

ウェットドライプロセスによるLCDPDP有機EL微細配線光ディスク光学素子部品の超精密洗浄と洗浄度評価

(超)精密洗浄と洗浄度評価 : ウェット・ドライプロセスによるLCD、PDP、有機EL、微細配線、光ディスク、光学素子・部品の

タイトル読み

ウェット ドライ プロセス ニヨル LCD PDP ユウキ EL ビサイ ハイセン ヒカリ ディスク コウガク ソシ ブヒン ノ チョウ セイミツ センジョウ ト センジョウド ヒョウカ

大学図書館所蔵 件 / 2

この図書・雑誌をさがす

注記

文献あり

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA79229803
  • ISBN
    • 486104085X
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    東京
  • ページ数/冊数
    408p, 図版2枚
  • 大きさ
    27cm
  • 分類
  • 件名
ページトップへ