新制御方式による半導体露光装置の高速ナノメータ同期位置制御

Author(s)

    • 辻, 輝生 ツジ, テルオ

Bibliographic Information

新制御方式による半導体露光装置の高速ナノメータ同期位置制御

研究代表者 辻輝生

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成14-16年度）

[九州工業大学], 2005.3

Other Title

平成14年度〜平成16年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

Title Transcription

シン セイギョ ホウシキ ニヨル ハンドウタイ ロコウ ソウチ ノ コウソク ナノメータ ドウキ イチ セイギョ

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Note

課題番号: 14350122

研究分担者: 二見茂, 浜松弘, 牧野内進, 中村祐司

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Details

  • NCID
    BA79313943
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [北九州]
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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