集積回路上への選択成長極微細シリコンプローブによるスマート・マイクロチップ

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集積回路上への選択成長極微細シリコンプローブによるスマート・マイクロチップ

石田誠研究代表

（科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書, 平成14年度-平成16年度）

石田誠, 2005.5

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シュウセキ カイロ ジョウ エノ センタク セイチョウ キョクビサイ シリコン プローブ ニヨル スマート・マイクロチップ

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Note

代表者所属: 豊橋技術科学大学工学部

研究課題番号: 14205044

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Details

  • NCID
    BA79324699
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [豊橋]
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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