クリーン金属アークプラズマを用いた高速ドライ配線技術の開発

著者

• 榊原, 建樹 サカキバラ, タテキ

書誌事項

クリーン金属アークプラズマを用いた高速ドライ配線技術の開発

榊原建樹研究代表

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成15年度-平成17年度）

榊原建樹, 2006.3

タイトル読み

クリーン キンゾク アーク プラズマ オ モチイタ コウソク ドライ ハイセン ギジュツ ノ カイハツ

注記

課題番号: 15360189

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA79340334
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [豊橋]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30193701