液浸リソグラフィのプロセスと材料 Process and ingredient of immersion lithography
著者
書誌事項
液浸リソグラフィのプロセスと材料 = Process and ingredient of immersion lithography
シーエムシー出版, 2006.10
- タイトル別名
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エレクトロニクス材料・技術シリーズ
- タイトル読み
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エキシン リソグラフィ ノ プロセス ト ザイリョウ
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注記
文献: 各章末
カバーに「エレクトロニクス材料・技術シリーズ」の表記あり
内容説明・目次
目次
- 液浸リソグラフィーとは
- 液浸露光用塗布現像装置
- レチクル技術
- 液浸リソグラフィの光学系
- 液浸露光装置の開発
- 液浸用レジストの開発
- 液浸用トップコート材料
- 液浸レジスト材料の評価
- 含フッ素樹脂のリソグラフィ分野への応用
- 偏光照明技術
- 高ＮＡ投影レンズの開発
- 次世代液浸露光用高屈折率液体の開発
- 次世代液浸リソグラフィの光学系
- ３２ｍｍハーフピッチに向けた今後のリソグラフィ展開
「BOOKデータベース」 より