マイクロ波帯の大面積放電によるジャイアント・プラズマプロセスの創出

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マイクロ波帯の大面積放電によるジャイアント・プラズマプロセスの創出

菅井秀郎 [ほか著]

[出版者不明], 2006.3

Other Title

平成15〜平成17年度科学研究費補助金(基盤研究(A))研究成果報告書

Title Transcription

マイクロハタイ ノ ダイメンセキ ホウデン ニヨル ジャイアント プラズマ プロセス ノ ソウシュツ

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Note

課題番号:15204053

研究分担者: 豊田浩孝, 石島達夫, 近藤道雄 [ほか]

Details

  • NCID
    BA79782296
  • Country Code
    xx
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    engjpn
  • Place of Publication
    [出版地不明]
  • Pages/Volumes
    53p
  • Size
    30cm
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