マイクロ波帯の大面積放電によるジャイアント・プラズマプロセスの創出

著者

• 菅井, 秀郎 スガイ, ヒデオ

書誌事項

マイクロ波帯の大面積放電によるジャイアント・プラズマプロセスの創出

菅井秀郎 [ほか著]

[出版者不明], 2006.3

タイトル別名

平成15〜平成17年度科学研究費補助金(基盤研究(A))研究成果報告書

タイトル読み

マイクロハタイ ノ ダイメンセキ ホウデン ニヨル ジャイアント プラズマ プロセス ノ ソウシュツ

注記

課題番号:15204053

研究分担者: 豊田浩孝, 石島達夫, 近藤道雄 [ほか]

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA79782296
• 出版国コード: xx
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: engjpn
• 出版地: [出版地不明]
• ページ数/冊数: 53p
• 大きさ: 30cm