単結晶Al2O3膜上への超平坦・高品質Si薄膜成長法の研究

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単結晶Al2O3膜上への超平坦・高品質Si薄膜成長法の研究

石田誠研究代表

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成8年度-平成9年度）

石田誠, 1998.3

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タンケッショウ Al2O3マクジョウ エノ チョウヘイタン・コウヒンシツ Siハクマク セイチョウホウ ノ ケンキュウ

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研究課題番号: 08455144

代表者所属: 豊橋技術科学大学工学部

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Details

  • NCID
    BA79826915
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    engjpn
  • Place of Publication
    [豊橋]
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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