単結晶Al2O3膜上への超平坦・高品質Si薄膜成長法の研究

著者

• 石田, 誠 イシダ, マコト

書誌事項

単結晶Al2O3膜上への超平坦・高品質Si薄膜成長法の研究

石田誠研究代表

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成8年度-平成9年度）

石田誠, 1998.3

タイトル読み

タンケッショウ Al2O3マクジョウ エノ チョウヘイタン・コウヒンシツ Siハクマク セイチョウホウ ノ ケンキュウ

注記

研究課題番号: 08455144

代表者所属: 豊橋技術科学大学工学部

• NII書誌ID(NCID): BA79826915
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: engjpn
• 出版地: [豊橋]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30193701