IV族半導体極微細プロセスに向けた固相反応のダイナミクス制御とCエンジニアリング

著者

• 財満, 鎭明 ザイマ, シゲアキ

書誌事項

IV族半導体極微細プロセスに向けた固相反応のダイナミクス制御とCエンジニアリング

財満鎭明 [ほか著]

[出版者不明], 2006.3

タイトル別名

平成15年度〜平成17年度科学研究費補助金(基盤研究(A))研究成果報告書

タイトル読み

IVゾク ハンドウタイ キョクビサイ プロセス ニ ムケタ コソウ ハンノウ ノ ダイナミクス セイギョト Cエンジニアリング

注記

課題番号:15206004

研究分担者: 酒井朗, 中塚理, 近藤博基

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA7984559X
• 出版国コード: xx
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [出版地不明]
• ページ数/冊数: 149p
• 大きさ: 30cm