IV族半導体極微細プロセスに向けた固相反応のダイナミクス制御とCエンジニアリング

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Bibliographic Information

IV族半導体極微細プロセスに向けた固相反応のダイナミクス制御とCエンジニアリング

財満鎭明 [ほか著]

[出版者不明], 2006.3

Other Title

平成15年度〜平成17年度科学研究費補助金(基盤研究(A))研究成果報告書

Title Transcription

IVゾク ハンドウタイ キョクビサイ プロセス ニ ムケタ コソウ ハンノウ ノ ダイナミクス セイギョト Cエンジニアリング

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Note

課題番号:15206004

研究分担者: 酒井朗, 中塚理, 近藤博基

Details

  • NCID
    BA7984559X
  • Country Code
    xx
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [出版地不明]
  • Pages/Volumes
    149p
  • Size
    30cm
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