低加速FIBによる化合物半導体のマスクレス極微領域選択エピタキシーに関する研究

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低加速FIBによる化合物半導体のマスクレス極微領域選択エピタキシーに関する研究

朴康司研究代表

（科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成14年度-平成15年度）

朴康司, 2004.10

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テイカソク FIB ニヨル カゴウブツ ハンドウタイ ノ マスクレス キョクビ リョウイキ センタク エピタキシー ニカンスル ケンキュウ

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課題番号: 14550298

代表者所属: 豊橋技術科学大学工学部

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Details

  • NCID
    BA79868766
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [豊橋]
  • Pages/Volumes
    40p
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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