低加速FIBによる化合物半導体のマスクレス極微領域選択エピタキシーに関する研究
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低加速FIBによる化合物半導体のマスクレス極微領域選択エピタキシーに関する研究
(科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成14年度-平成15年度)
朴康司, 2004.10
- タイトル読み
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テイカソク FIB ニヨル カゴウブツ ハンドウタイ ノ マスクレス キョクビ リョウイキ センタク エピタキシー ニカンスル ケンキュウ
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注記
課題番号: 14550298
代表者所属: 豊橋技術科学大学工学部