高周波半導体材料・デバイスの新展開 New developments of semiconductor materials and devices for high frequency applications
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書誌事項
高周波半導体材料・デバイスの新展開 = New developments of semiconductor materials and devices for high frequency applications
シーエムシー出版, 2006.11
- タイトル別名
-
高周波半導体材料デバイスの新展開
エレクトロニクス材料・技術シリーズ
- タイトル読み
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コウシュウハ ハンドウタイ ザイリョウ デバイス ノ シンテンカイ
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注記
文献: 各論文末
ジャケットに「エレクトロニクス材料・技術シリーズ」と記載あり
内容説明・目次
内容説明
最先端の技術開発を担う多数の研究者の協力を得て、材料技術からデバイス作製技術までの最新動向を一冊にまとめ、第一線、及び関連の研究者、技術者への便宜を図ることを本書の狙いとしている。
目次
- 展望 高周波利用のゆくえ、デバイスの位置づけ(高周波半導体材料の変遷;デバイスおよび回路設計技術の展望)
- 第1編 化合物半導体基板技術(GaAs基板;SiC基板;新材料系基盤)
- 第2編 結晶成長技術(3‐V族化合物成長技術;3‐N化合物成長技術;Smart Cut TMによるウェーハ貼り合わせ技術)
- 第3編 デバイス技術(3‐V族系デバイス;3族窒化物系デバイス;シリコン系デバイス;テラヘルツ波半導体デバイス)
「BOOKデータベース」 より