高周波半導体材料・デバイスの新展開 New developments of semiconductor materials and devices for high frequency applications
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高周波半導体材料・デバイスの新展開 = New developments of semiconductor materials and devices for high frequency applications
シーエムシー出版, 2006.11
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高周波半導体材料デバイスの新展開
エレクトロニクス材料・技術シリーズ
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コウシュウハ ハンドウタイ ザイリョウ デバイス ノ シンテンカイ
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Note
文献: 各論文末
ジャケットに「エレクトロニクス材料・技術シリーズ」と記載あり
Description and Table of Contents
Description
最先端の技術開発を担う多数の研究者の協力を得て、材料技術からデバイス作製技術までの最新動向を一冊にまとめ、第一線、及び関連の研究者、技術者への便宜を図ることを本書の狙いとしている。
Table of Contents
- 展望 高周波利用のゆくえ、デバイスの位置づけ（高周波半導体材料の変遷；デバイスおよび回路設計技術の展望）
- 第１編 化合物半導体基板技術（ＧａＡｓ基板；ＳｉＣ基板；新材料系基盤）
- 第２編 結晶成長技術（３‐Ｖ族化合物成長技術；３‐Ｎ化合物成長技術；Ｓｍａｒｔ Ｃｕｔ ＴＭによるウェーハ貼り合わせ技術）
- 第３編 デバイス技術（３‐Ｖ族系デバイス；３族窒化物系デバイス；シリコン系デバイス；テラヘルツ波半導体デバイス）
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