複雑な構造を持つ半導体多層薄膜のX線CTR散乱法による解析

Author(s)

• 田渕, 雅夫 タブチ, マサオ
• 竹田, 美和 タケダ, ヨシカズ
• 大渕, 博宣 オオブチ, ヒロノブ

Bibliographic Information

複雑な構造を持つ半導体多層薄膜のX線CTR散乱法による解析

田淵雅夫 [ほか著]

[出版者不明], 2006.4

Other Title

平成16年度〜平成17年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

Title Transcription

フクザツ ナ コウゾウ オ モツ ハンドウタイ タソウ ウスマク ノ Xセン CTR サンランホウ ニヨル カイセキ

Note

課題番号:16360006

研究分担者:竹田美和, 大渕博宣

• NCID: BA8001591X
• Country Code: xx
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: engjpn
• Place of Publication: [出版地不明]
• Pages/Volumes: 1冊
• Size: 30cm