Fundamentals of semiconductor manufacturing and process control

著者

• May, Gary S.
• Spanos, Costas J.

書誌事項

Fundamentals of semiconductor manufacturing and process control

Gary S. May, Costas J. Spanos

IEEE , Wiley-Interscience, c2006

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA80026836
• ISBN:
  • 9780471784067
• LCCN: 2005028448
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: [Piscataway],Hoboken, N.J.
• ページ数/冊数: xix, 463 p.
• 大きさ: 25 cm
• 分類:
  • LCC : TK7871.85
  • DC22 : 621.3815/2
• 件名:
  • LCSH : Semiconductors -- Design and construction
  • LCSH : Integrated circuits -- Design and construction
  • LCSH : Process control -- Statistical methods