Optical inspection of microsystems

著者

• Osten, Wolfgang

書誌事項

Optical inspection of microsystems

edited by Wolfgang Osten

（Optical science and engineering, 109）

CRC/Taylor & Francis, c2007

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA8002849X
• ISBN:
  • 9780849336829
• LCCN: 2005046670
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Boca Raton, FL
• ページ数/冊数: 503 p., [8] p. of plates
• 大きさ: 26 cm
• 分類:
  • LCC : TS156.2
  • DC22 : 670.42/5
• 件名:
  • LCSH : Quality control -- Optical methods
  • LCSH : Optical detectors -- Industrial applications
  • LCSH : Microelectronics
• 親書誌ID:
  • BA75065169