金属微細配線におけるマイグレーションのメカニズム

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金属微細配線におけるマイグレーションのメカニズム

新宮原正三監修

サイエンス&テクノロジ-, 2006.12

Other Title

金属微細配線におけるマイグレーションのメカニズムと対策

Title Transcription

キンゾク ビサイ ハイセン ニオケル マイグレーション ノ メカニズム

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Note

参考文献: 各章末

Details

  • NCID
    BA80349460
  • ISBN
    • 4903413152
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京
  • Pages/Volumes
    206p
  • Size
    27cm
  • Classification
  • Subject Headings
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