Fast simulation of electro-thermal MEMS : efficient dynamic compact models

著者

• Bechtold, T.
• Rudnyi, E. B.
• Korvink, J. G.

書誌事項

Fast simulation of electro-thermal MEMS : efficient dynamic compact models

T. Bechtold, E.B. Rudnyi, J.G. Korvink

（Microtechnology and MEMS）

Springer, c2007

注記

"With 108 figures, 8 in color and 9 tables"

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA80764688
• ISBN:
  • 9783540346128
• 出版国コード: gw
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Berlin
• ページ数/冊数: xi, 180 p.
• 大きさ: 24 cm
• 親書誌ID:
  • BA51409718