Fast simulation of electro-thermal MEMS : efficient dynamic compact models

著者

    • Bechtold, T.
    • Rudnyi, E. B.
    • Korvink, J. G.

書誌事項

Fast simulation of electro-thermal MEMS : efficient dynamic compact models

T. Bechtold, E.B. Rudnyi, J.G. Korvink

(Microtechnology and MEMS)

Springer, c2007

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注記

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA80764688
  • ISBN
    • 9783540346128
  • 出版国コード
    gw
  • タイトル言語コード
    eng
  • 本文言語コード
    eng
  • 出版地
    Berlin
  • ページ数/冊数
    xi, 180 p.
  • 大きさ
    24 cm
  • 親書誌ID
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