レーザーAEシステムを用いた微細試料の信頼性評価

著者

• 榎, 学 エノキ, マナブ

書誌事項

レーザーAEシステムを用いた微細試料の信頼性評価

研究代表者榎学

[榎学], 2006.3

タイトル別名

平成15年度〜平成17年度科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書

科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書

タイトル読み

レーザー AE システム オ モチイタ ビサイ シリョウ ノ シンライセイ ヒョウカ

注記

研究課題番号: 15360364

書名は背・表紙による

• NII書誌ID(NCID): BA80879952
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: eng
• 出版地: [東京]
• ページ数/冊数: 85p
• 大きさ: 30cm