RF信号処理用超高周波シリコンナノ振動子
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書誌事項
RF信号処理用超高周波シリコンナノ振動子
[東京大学生産技術研究所], 2006.2
- タイトル別名
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RF信号処理用超高周波シリコンナノ振動子
平成15〜16年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
- タイトル読み
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RF シンゴウ ショリヨウ チョウコウシュウハ シリコン ナノ シンドウシ
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注記
課題番号: 15310101
研究分担者: 藤田博之, Kim Beomjoon, 安宅学