光誘起表面反応を併用したCVD法によるダイヤモンド膜の低温形成
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書誌事項
光誘起表面反応を併用したCVD法によるダイヤモンド膜の低温形成
[光田好孝], 2006.3
- タイトル別名
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平成13年度〜平成16年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2)(一般))研究成果報告書
科学研究費補助金(基盤研究(B)(2)(一般))研究成果報告書
- タイトル読み
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ヒカリ ユウキ ヒョウメン ハンノウ オ ヘイヨウシタ CVDホウ ニヨル ダイヤモンドマク ノ テイオン ケイセイ
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注記
課題番号: 13450291