光誘起表面反応を併用したCVD法によるダイヤモンド膜の低温形成

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光誘起表面反応を併用したCVD法によるダイヤモンド膜の低温形成

研究代表者光田好孝

[光田好孝], 2006.3

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平成13年度〜平成16年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2)(一般))研究成果報告書

科学研究費補助金(基盤研究(B)(2)(一般))研究成果報告書

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ヒカリ ユウキ ヒョウメン ハンノウ オ ヘイヨウシタ CVDホウ ニヨル ダイヤモンドマク ノ テイオン ケイセイ

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Note

課題番号: 13450291

Details

  • NCID
    BA80895278
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [東京]
  • Pages/Volumes
    17枚; 30cm
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