光誘起表面反応を併用したCVD法によるダイヤモンド膜の低温形成

Author(s)

• 光田, 好孝 ミツダ, ヨシタカ

Bibliographic Information

光誘起表面反応を併用したCVD法によるダイヤモンド膜の低温形成

研究代表者光田好孝

[光田好孝], 2006.3

Other Title

平成13年度〜平成16年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2)(一般))研究成果報告書

科学研究費補助金(基盤研究(B)(2)(一般))研究成果報告書

Title Transcription

ヒカリ ユウキ ヒョウメン ハンノウ オ ヘイヨウシタ CVDホウ ニヨル ダイヤモンドマク ノ テイオン ケイセイ

Note

課題番号: 13450291

Details

• NCID: BA80895278
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: [東京]
• Pages/Volumes: 17枚; 30cm