プローブ不要で高い寸法・位置制御性をもつ一括近接場光ナノ加工法の研究

Author(s)

• 大津, 元一 オオツ, モトイチ

Bibliographic Information

プローブ不要で高い寸法・位置制御性をもつ一括近接場光ナノ加工法の研究

研究代表者大津元一

[大津元一], 2006.3

Other Title

平成16年度〜平成17年度科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書

科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書

Title Transcription

プローブ フヨウ デ タカイ スンポウ イチ セイギョセイ オ モツ イッカツ キンセツバコウ ナノ カコウホウ ノ ケンキュウ

Note

課題番号: 16360028

• NCID: BA80918216
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpneng
• Place of Publication: [東京]
• Pages/Volumes: 1冊
• Size: 30cm