クリーンルーム入門 : 初心者のための

Author(s)

• クリーンテクノロジー編集委員会 クリーン テクノロジー ヘンシュウ イインカイ
• 日本工業出版 ニホン コウギョウ シュッパン

Bibliographic Information

クリーンルーム入門 : 初心者のための

クリーンテクノロジー編集委員会編纂

日本工業出版, 2007.2

第2版

Other Title

初心者のためのクリーンルーム入門

Title Transcription

クリーン ルーム ニュウモン : ショシンシャ ノ タメ ノ

Note

参考文献: p167-168

Description and Table of Contents

Table of Contents

• 第１章　クリーンルーム設計の予備知識（クリーンルームとは；クリーンルームに使用される構成部材・関連設備；クリーンルーム関連計測器・用品）
• 第２章　クリーンルームの計画・設計（クリーンルームの計画；クリーンルームの設計）
• 第３章　クリーンルームの施工（クリーンルーム施工のポイント；クリーンルーム施工の合理化；クリーンルームの安全性）
• 第４章　クリーンルームの性能評価（クリーンルームに関する規格類；性能評価試験；空気中の分子汚染物質（ＡＭＣ））
• 第５章　クリーンルームの維持管理（モニタリングと作業者の管理；衣服・清浄化・設備）

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Details

• NCID: BA81481601
• ISBN:
  • 9784819019033
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: 179p
• Size: 21cm
• Classification:
  • NDC8 : 528.2
  • NDC9 : 528.2
• Subject Headings:
  • BSH : クリーンルーム