クリーンルーム入門 : 初心者のための
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書誌事項
クリーンルーム入門 : 初心者のための
日本工業出版, 2007.2
第2版
- タイトル別名
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初心者のためのクリーンルーム入門
- タイトル読み
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クリーン ルーム ニュウモン : ショシンシャ ノ タメ ノ
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注記
参考文献: p167-168
内容説明・目次
目次
- 第1章 クリーンルーム設計の予備知識(クリーンルームとは;クリーンルームに使用される構成部材・関連設備;クリーンルーム関連計測器・用品)
- 第2章 クリーンルームの計画・設計(クリーンルームの計画;クリーンルームの設計)
- 第3章 クリーンルームの施工(クリーンルーム施工のポイント;クリーンルーム施工の合理化;クリーンルームの安全性)
- 第4章 クリーンルームの性能評価(クリーンルームに関する規格類;性能評価試験;空気中の分子汚染物質(AMC))
- 第5章 クリーンルームの維持管理(モニタリングと作業者の管理;衣服・清浄化・設備)
「BOOKデータベース」 より