プラズマ・イオンビームとナノテクノロジー
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プラズマ・イオンビームとナノテクノロジー
(CMCテクニカルライブラリー, 252)
シーエムシー出版, 2007.3
普及版
- Other Title
-
Ion beam and plasma process for nanotechnology
プラズマ・イオンビーム応用とナノテクノロジー
プラズマイオンビームとナノテクノロジー
- Title Transcription
-
プラズマ イオン ビーム ト ナノテクノロジー
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Note
初版 (2002年刊) のタイトル: プラズマ・イオンビーム応用とナノテクノロジー
文献あり
Description and Table of Contents
Table of Contents
- 総論 プラズマ・イオンビーム技術の新展開
- 基礎編(プラズマの物理化学;イオンビームの物理化学;プラズマ装置;イオンビーム装置)
- 機能材料応用編(イオン注入による表面機能材料;薄膜誘電体材料;ダイヤモンドおよび関連材料;フラーレン;光機能材料;薄膜積層多層材料)
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