プラズマ・イオンビームとナノテクノロジー

Author(s)

• 上條, 榮治 カミジョウ, エイジ

Bibliographic Information

プラズマ・イオンビームとナノテクノロジー

上條榮治監修

（CMCテクニカルライブラリー, 252）

シーエムシー出版, 2007.3

普及版

Other Title

Ion beam and plasma process for nanotechnology

プラズマ・イオンビーム応用とナノテクノロジー

プラズマイオンビームとナノテクノロジー

Title Transcription

プラズマ イオン ビーム ト ナノテクノロジー

Note

初版 (2002年刊) のタイトル: プラズマ・イオンビーム応用とナノテクノロジー

文献あり

Description and Table of Contents

Table of Contents

• 総論　プラズマ・イオンビーム技術の新展開
• 基礎編（プラズマの物理化学；イオンビームの物理化学；プラズマ装置；イオンビーム装置）
• 機能材料応用編（イオン注入による表面機能材料；薄膜誘電体材料；ダイヤモンドおよび関連材料；フラーレン；光機能材料；薄膜積層多層材料）

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Details

• NCID: BA81630064
• ISBN:
  • 9784882319153
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: vi, 316p
• Size: 21cm
• Classification:
  • NDC8 : 549.1
  • NDC9 : 549.1
• Subject Headings:
  • BSH : イオンビーム
  • BSH : プラズマ物理学
  • BSH : ナノテクノロジー
• Parent Bibliography ID:
  • BA49949541