クリーンルームにおける停電、瞬時電圧低下現象対策

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クリーンルームにおける停電、瞬時電圧低下現象対策

クリーンテクノロジー編集委員会編纂

(月刊「クリーンテクノロジー」, 別冊号)

日本工業出版, 2006.3

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クリーン ルーム ニオケル テイデン シュンジ デンアツ テイカ ゲンショウ タイサク

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Description and Table of Contents

Table of Contents

  • 対策(停電、瞬時電圧低下現象の実態;半導体製造装置における停電対策;半導体工場の瞬低・停電対策 ほか)
  • 装置(瞬低対策機能付きNAS電池システム;GTO遮断機を用いたNAS瞬低対策装置;高品質電源供給「UPS」TRIBLOCKシステム ほか)
  • 雷(雷害対策に関連する規格;電圧障害対策機器「低圧回路用アレスタ」;低圧電力回路の直撃雷保護用SPD ほか)

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