プラズマ化学気相成長法により堆積したas-grownシリコン酸窒化薄膜の膜中欠陥に関する研究

Author(s)

Bibliographic Information

プラズマ化学気相成長法により堆積したas-grownシリコン酸窒化薄膜の膜中欠陥に関する研究

二ツ寺政友[著]

[二ツ寺政友], [2005]

Title Transcription

プラズマ カガク キソウ セイチョウホウ ニ ヨリ タイセキシタ as - grown シリコンサン チッカ ハクマク ノ マクチュウ ケッカン ニ カンスル ケンキュウ

Available at  / 1 libraries

Search this Book/Journal

Note

博士論文(金沢大学, 2005, 甲第2474号)

Details

  • NCID
    BA82156741
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [金沢]
  • Pages/Volumes
    1冊 ; 30cm
Page Top