フルオロカーボンプラズマ下流での気相分子成長とその応用

著者

• 古屋, 謙治 フルヤ, ケンジ

書誌事項

フルオロカーボンプラズマ下流での気相分子成長とその応用

研究代表者 古屋謙治

（科学研究費補助金(基盤研究C)研究成果報告書, 平成17年度-18年度）

[九州大学], 2007.3

タイトル別名

平成17～18年度科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書

タイトル読み

フルオロカーボン プラズマ カリュウ デノ キソウ ブンシ セイチョウ ト ソノ オウヨウ

注記

課題番号: 17540471

• NII書誌ID(NCID): BA8218205X
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [福岡]
• ページ数/冊数: 65p
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30764121